AP系列10PA气动压力调节器
低流量-高压驱动控制压力
与工艺气体隔离
由两个密封件
•单级
•不锈钢316L无功二级
重熔或超合金
建设
•清洁、组装和
高纯度包装
半导体应用
•表面光洁度
最大15 Ra/平均10 Ra
（10、7和5个Ra最大选项）
•真空至3500 psig
（241巴）入口
•达到100 psig出口压力
控制压力为80 psig
或更少
•执行机构“故障安全”
常闭（NC）