FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- IWAKI
- 产品型号：
- SB 系列
- 订货编码：
- SB 系列
- 产地：
- 日本
最大排放量：100 mL/冲程最适合半导体制造工艺中的抗蚀剂涂层工艺
SB系列的特点
- 高精准度
- 准确测量和分配光刻胶等化学品。为了优化抗蚀剂滴落量，提高了每次喷射的分配精度，并通过安装吸回（选项），防止抗蚀剂从排放端滴落。
波纹管内的死体积极小，该结构可防止液体积聚。采用无密封结构和低速气缸，可以低速注入抗蚀剂，防止空气进入光刻胶。
- 轻巧紧凑的设计
- 提供立式和卧式泵安装形式（SB-4K/5/6除外），让您选择最适合系统集成的形状。其紧凑的尺寸也为外围设备留出了空间。
此外，我们还准备了一个带有机械限位器的气缸，可以通过一个泵来控制微量排放量，以及一个带有传感器的气缸，可以可靠地确认操作。
- 由不锈钢和氟树脂制成
- 接液部材料有不锈钢（SUS304）型和氟树脂（PTFE、PFA）型。具有优异的耐腐蚀性，不会污染液体，因此可以安全地管理高分辨率和高纯度光刻胶等液体质量。