iXM 低能耗系列干式泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。

• 高效的根源机制可将输入功率减少多达 60％，从而减少对环境的影响并降低总体使用成本
• 气体阻隔技术和隔热设计方面的改进使产品的抗腐蚀性比我们之前的系列提高了四倍
• 先进的粉尘处理功能可为多层蚀刻工艺提供更高的可靠性，延长真空泵使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗
• 紧凑轻巧的设计，加上非常低的噪声和振动，可提供更多的用途
• 采用 Xcede 技术，增强了耐腐蚀性。