EDWARDS（爱德华）低温泵 XVS 320F
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On-Board® IS 320F XVS 低温泵具有超卓的氢气抽取性能，可提高工艺产量和吞吐量，为当今的离子注入应用挑战提供出色的解决方案。低温泵的内置智能系统控件可确保获得更好的工艺质量、真空一致性和工作时间，同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热/气负载条件，提高真空质量。- 再生过程之间的 H2 抽速波动变小
- 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
- 优化、稳定的阵列温度
