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产品详情
EDWARDS（爱德华）低温泵 XVS 320F
价 格：
面议
未税价格：
面议 (税率:13%)
品牌名称：
EDWARDS
产品型号：
XVS 320F
订货编码：
XVS 320F
产地：
英国
起订量：
1
库存：
0
参考发货日：
>0台
预计30个工作日内发货
发货及配送时效说明
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产品介绍
品牌名称：
EDWARDS
产品型号：
XVS 320F
订货编码：
XVS 320F
产地：
英国
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320F XVS 低温泵具有超卓的氢气抽取性能，可提高工艺产量和吞吐量，为当今的离子注入应用挑战提供出色的解决方案。低温泵的内置智能系统控件可确保获得更好的工艺质量、真空一致性和工作时间，同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热/气负载条件，提高真空质量。
再生过程之间的 H2 抽速波动变小
减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
优化、稳定的阵列温度
