EDWARDS（爱德华）内燃式燃烧器 Atlas Atlas
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EDWARDS（爱德华）内燃式燃烧器 Atlas Atlas
ATLAS 提供出众的减排性能Edwards 的 Atlas™ 具有卓越的可靠性、出色的粉末处理能力和耐腐蚀性，可为半导体、平板显示器、太阳能和 MOCVD 行业提供减排性能。Atlas 减排技术：一系列燃烧气体减排解决方案 - 选择适合您特定加工过程的解决方案：Atlas TCS，适用于常见的 CVD 气体 (NF3/F2)Atlas TPU，适用于 CV
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面议 (税率:13%)
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产品参数
| 品牌 | EDWARDS |
|---|---|
| 型号/系列 | Atlas |
| 产品名称 | EDWARDS（爱德华）内燃式燃烧器 Atlas |
| 分类 | 泵类 |
| 订货编码 | Atlas |
| 产地 | 英国 |
简短介绍
ATLAS 提供出众的减排性能Edwards 的 Atlas™ 具有卓越的可靠性、出色的粉末处理能力和耐腐蚀性，可为半导体、平板显示器、太阳能和 MOCVD 行业提供减排性能。Atlas 减排技术：一系列燃烧气体减排解决方案 - 选择适合您特定加工过程的解决方案：Atlas TCS，适用于常见的 CVD 气体 (NF3/F2)Atlas TPU，适用于 CV
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价ATLAS 提供出众的减排性能
Edwards 的 Atlas™ 具有卓越的可靠性、出色的粉末处理能力和耐腐蚀性，可为半导体、平板显示器、太阳能和 MOCVD 行业提供减排性能。
Atlas 减排技术：一系列燃烧气体减排解决方案 - 选择适合您特定加工过程的解决方案：
与上一代气体减排装置相比，Atlas ™ 系统的燃料消耗更低。我们使用久经考验的 Alzeta™ 内燃式燃烧器技术，可显著降低拥有成本。Atlas 系统可配备一到六个进气口以及包括温度管理系统 (TMS) 在内的多种选件，可处理高达 1,200 slm 的流量。系统经过专门设计，易于使用，维护效率更高。
Edwards' inward-fired combustion technology
自 1994 年以来，内燃式燃烧器被大多数大型半导体制造商所采用，现已成为气体减排行业的标准应用。
我们独特的燃烧技术以均匀的燃烧温度运行。这可确保极低的背景排放，并且气体的向内流动可防止工艺材料与腔室壁接触，从而更大程度地减少固体堵塞。燃烧室材料的独特成分可确保优异的耐腐蚀性，并有助于为 Atlas 提供出众的可靠性和安全性。
在我们先进的环境创新中心，我们可提供按照过程精调过的解决方案，以实现久经现场验证和第三方确认的卓越性能。减排 DRE 措施通常超越国际以及地方法规的要求：
低于 TLV 的 SiH4 和其他卤化物
NF3：>99% /
F2：>99% /
CF4：>90%
其他 PFC：>99%
凭借庞大的装机数量、卓越的全球应用团队和服务支持，我们可以提供专为您的过程需求而设计的优质解决方案。请与我们的团队联系，我们一起找到最终的解决方案。
FAQ
EDWARDS（爱德华）内燃式燃烧器 Atlas Atlas 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。