SAMCO（萨姆科）等离子体强化的ALD设备 AD-230LP AD-230LP
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SAMCO（萨姆科）等离子体强化的ALD设备 AD-230LP AD-230LP
概要AD-230LP是一种原子层沉积（ALD）系统，能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室，仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室，且不向大气开放反应室，因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。主要特点和优点可以在原子层水平上实现均匀的层控制。可实现高纵横比结构的共形沉积。具有优良的平面内均匀性和再现性，实现了稳定的工艺。采用独
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | AD-230LP |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）等离子体强化的ALD设备 AD-230LP |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | AD-230LP |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要AD-230LP是一种原子层沉积（ALD）系统，能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室，仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室，且不向大气开放反应室，因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。主要特点和优点可以在原子层水平上实现均匀的层控制。可实现高纵横比结构的共形沉积。具有优良的平面内均匀性和再现性，实现了稳定的工艺。采用独
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
AD-230LP是一种原子层沉积（ALD）系统，能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室，仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室，且不向大气开放反应室，因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。
主要特点和优点
- 可以在原子层水平上实现均匀的层控制。
- 可实现高纵横比结构的共形沉积。
- 具有优良的平面内均匀性和再现性，实现了稳定的工艺。
- 采用独特的反应室结构，优化了原料的气路和气体流，抑制了粒子。
- 通过采用电容耦合等离子体(CCP)系统，使反应室体积最小化，缩短了气体吹扫时间，加快了一个循环的速度。
应用
- 氮化膜（AlN、SiN）的形成和低温形成的氧化膜（AlOx、SiO2）。
- 电子设备的闸门绝缘子
- 半导体、有机EL等的钝化膜。
- 半导体激光器的反射面
- 在MEMS等3D结构上的沉积
- 石墨烯上的沉积
- 碳纳米管保护膜粉末涂层
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FAQ
SAMCO（萨姆科）等离子体强化的ALD设备 AD-230LP AD-230LP 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。