SAMCO（萨姆科）无针孔薄膜沉积 AL-1 AL-1
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SAMCO（萨姆科）无针孔薄膜沉积 AL-1 AL-1
概要AL-1通过交替向反应室提供有机金属原料和氧化剂，仅利用表面反应沉积薄膜，实现了高膜厚控制和良好的步骤覆盖率。薄膜的厚度可以控制在原子层的数量级。此外，可以在高宽比的孔内壁上沉积覆盖性好、厚度均匀的薄膜。可同时沉积3片ø4英寸的晶片。主要特点和优点成膜效率高 通过提供几十毫秒量级的脉冲，减少了原材料的损耗，提高了沉积效率。真空清洁，温度不均匀性小 通过紧
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | AL-1 |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）无针孔薄膜沉积 AL-1 |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | AL-1 |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要AL-1通过交替向反应室提供有机金属原料和氧化剂，仅利用表面反应沉积薄膜，实现了高膜厚控制和良好的步骤覆盖率。薄膜的厚度可以控制在原子层的数量级。此外，可以在高宽比的孔内壁上沉积覆盖性好、厚度均匀的薄膜。可同时沉积3片ø4英寸的晶片。主要特点和优点成膜效率高 通过提供几十毫秒量级的脉冲，减少了原材料的损耗，提高了沉积效率。真空清洁，温度不均匀性小 通过紧
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
AL-1通过交替向反应室提供有机金属原料和氧化剂，仅利用表面反应沉积薄膜，实现了高膜厚控制和良好的步骤覆盖率。薄膜的厚度可以控制在原子层的数量级。此外，可以在高宽比的孔内壁上沉积覆盖性好、厚度均匀的薄膜。可同时沉积3片ø4英寸的晶片。
主要特点和优点
成膜效率高
通过提供几十毫秒量级的脉冲，减少了原材料的损耗，提高了沉积效率。
真空清洁，温度不均匀性小
通过紧贴反应室内壁的内壁加热器，抑制反应室的温度不均匀，可获得清洁的真空。
无针孔成膜
由于多种前驱体在反应室中没有混合，因此可以防止颗粒，形成无针孔的薄膜。
应用
- 用于下一代功率器件的栅极氧化膜和钝化膜。
- 在3D结构上形成均匀的薄膜，如MEMS。
- 激光表面的沉积
- 碳纳米管的钝化膜
FAQ
SAMCO（萨姆科）无针孔薄膜沉积 AL-1 AL-1 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。