SAMCO（萨姆科）液体原料CVD设备 PD-100ST PD-100ST
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SAMCO（萨姆科）液体原料CVD设备 PD-100ST PD-100ST
概要PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到极厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要最小的洁净室空间。主要特点和优点沉积物达ø100 mm（
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | PD-100ST |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）液体原料CVD设备 PD-100ST |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | PD-100ST |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到极厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要最小的洁净室空间。主要特点和优点沉积物达ø100 mm（
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到极厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要最小的洁净室空间。
主要特点和优点
- 沉积物达ø100 mm（4"）。
- 阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300 nm/min）沉积。
- 通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。
- 高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
- 使用锗、磷、硼液源控制折射率。
- PD-100ST设计时尚、紧凑，只需要最小的洁净室空间。
应用
- 塑料材料上保护膜的沉积
- 在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
- 光波导的制造（光纤芯/包层）。
- 制造用于微型机械生产的面罩。
- 覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。
- SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。
FAQ
SAMCO（萨姆科）液体原料CVD设备 PD-100ST PD-100ST 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。