SAMCO（萨姆科）ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-230iP RIE-230iP
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SAMCO（萨姆科）ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-230iP RIE-230iP
概要RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式，高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用独特的龙卷风式线圈电极，高效地产生稳定的高密度等离子体，可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外，ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。主要特点和优点龙卷风线圈电极 它能有效地产生稳定的高密度等离子体，使
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-230iP |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-230iP |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-230iP |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式，高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用独特的龙卷风式线圈电极，高效地产生稳定的高密度等离子体，可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外，ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。主要特点和优点龙卷风线圈电极 它能有效地产生稳定的高密度等离子体，使
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式，高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用独特的龙卷风式线圈电极，高效地产生稳定的高密度等离子体，可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外，ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。
主要特点和优点
龙卷风线圈电极
它能有效地产生稳定的高密度等离子体，使蚀刻具有高选择性、高精度和良好的均匀性。
低损伤工艺
通过ICP产生高密度的等离子体，实现了低偏置、低损伤的工艺。
温度控制
电调和He冷却的平台和反应室内侧壁的温度控制使蚀刻在稳定的条件下进行。
应用
GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工。铁电材料、电极材料等难蚀材料的加工。
FAQ
SAMCO（萨姆科）ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-230iP RIE-230iP 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。