SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-802BCT RIE-802BCT
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SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-802BCT RIE-802BCT
概要RIE-802BCT是采用电感耦合等离子体作为放电形式的两个反应室的量产用硅深孔系统。标准配置有空气盒和晶圆边缘保护环，以及高精度的晶圆对准器。该高性能系统能够进行高长宽比加工（超过100）和低扇形加工，同时保持高蚀刻率和抗蚀剂选择率。主要特点和优点高宽比处理独特的等离子体发生器和反应器结构，在保持垂直蚀刻形状的同时，实现了高宽比加工。低扇形加工通过高速
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-802BCT |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-802BCT |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-802BCT |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要RIE-802BCT是采用电感耦合等离子体作为放电形式的两个反应室的量产用硅深孔系统。标准配置有空气盒和晶圆边缘保护环，以及高精度的晶圆对准器。该高性能系统能够进行高长宽比加工（超过100）和低扇形加工，同时保持高蚀刻率和抗蚀剂选择率。主要特点和优点高宽比处理独特的等离子体发生器和反应器结构，在保持垂直蚀刻形状的同时，实现了高宽比加工。低扇形加工通过高速
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
RIE-802BCT是采用电感耦合等离子体作为放电形式的两个反应室的量产用硅深孔系统。
标准配置有空气盒和晶圆边缘保护环，以及高精度的晶圆对准器。
该高性能系统能够进行高长宽比加工（超过100）和低扇形加工，同时保持高蚀刻率和抗蚀剂选择率。
主要特点和优点
高宽比处理
独特的等离子体发生器和反应器结构，在保持垂直蚀刻形状的同时，实现了高宽比加工。
低扇形加工
通过高速切换气体，在保持蚀刻速度的同时，可以减少扇贝。
2003年，Samco是日本第一家获得博世工艺许可的设备制造商。从那时起，我们建立的工艺库就可以对各种形状和材料进行加工。
应用
- MEMS的制造（加速度传感器、陀螺传感器、压力传感器、执行器等）。
- 喷墨打印头加工
- 通过TSV形成通硅。
- 生产功率器件(超结MOSFET)
- 等离子切割
FAQ
SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-802BCT RIE-802BCT 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。