SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-800BCT RIE-800BCT
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SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-800BCT RIE-800BCT
概要RIE-800BCT是使用电感耦合等离子体作为放电形式的生产型硅DRIE系统。这种高性能系统能够进行高纵横比处理（超过100）和低扇形处理，同时保持高蚀刻率和选择性。主要特点和优点MEMS量产中的高速蚀刻量产中的高宽比蚀刻扇贝的控制/无扇贝的非波西法流程倾斜控制，均匀性好用于绝缘体硅(SOI)晶片缺口控制的偏置脉冲。扩展流程库应用制造MEMS（加速度传感
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-800BCT |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-800BCT |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-800BCT |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概要RIE-800BCT是使用电感耦合等离子体作为放电形式的生产型硅DRIE系统。这种高性能系统能够进行高纵横比处理（超过100）和低扇形处理，同时保持高蚀刻率和选择性。主要特点和优点MEMS量产中的高速蚀刻量产中的高宽比蚀刻扇贝的控制/无扇贝的非波西法流程倾斜控制，均匀性好用于绝缘体硅(SOI)晶片缺口控制的偏置脉冲。扩展流程库应用制造MEMS（加速度传感
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概要
RIE-800BCT是使用电感耦合等离子体作为放电形式的生产型硅DRIE系统。
这种高性能系统能够进行高纵横比处理（超过100）和低扇形处理，同时保持高蚀刻率和选择性。
主要特点和优点
- MEMS量产中的高速蚀刻
- 量产中的高宽比蚀刻
- 扇贝的控制/无扇贝的非波西法流程
- 倾斜控制，均匀性好
- 用于绝缘体硅(SOI)晶片缺口控制的偏置脉冲。
- 扩展流程库
应用
- 制造MEMS（加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、执行器等）。
- 喷墨打印头的加工
- 形成通硅孔(TSV)
- 功率器件（超结MOSFET）的制造。
- 等离子切割
FAQ
SAMCO（萨姆科）深硅蚀刻设备 RIE-800BCT RIE-800BCT 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。