SAMCO（萨姆科）RIE等离子刻蚀机 RIE-10NR RIE-10NR
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SAMCO（萨姆科）RIE等离子刻蚀机 RIE-10NR RIE-10NR
要点RIE-10NR 是一种新颖的低成本、高性能、全自动反应离子蚀刻系统，可满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。RIE-10NR 凭借其时尚、紧凑的设计，需要最小的洁净室空间。主要特点和优点加工最大 ø220 mm（ø3” x 5、ø4” x
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面议 (税率:13%)
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-10NR |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）RIE等离子刻蚀机 RIE-10NR |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-10NR |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
要点RIE-10NR 是一种新颖的低成本、高性能、全自动反应离子蚀刻系统，可满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。RIE-10NR 凭借其时尚、紧凑的设计，需要最小的洁净室空间。主要特点和优点加工最大 ø220 mm（ø3” x 5、ø4” x
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价要点
RIE-10NR 是一种新颖的低成本、高性能、全自动反应离子蚀刻系统，可满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。RIE-10NR 凭借其时尚、紧凑的设计，需要最小的洁净室空间。
主要特点和优点
- 加工最大 ø220 mm（ø3” x 5、ø4” x 3、ø8” x 1）
- 高选择性各向异性蚀刻满足苛刻的工艺要求
- 全自动“一键式”操作，全手动操作
- 计算机化触摸屏为参数控制和存储提供了用户友好的界面
- 自动压力控制，可以独立于气体流量精确控制过程压力
- 干式泵和系统布局便于维护
- 可靠耐用的系统，全球已安装 400 多套系统
应用
- Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Mo、Pt、Polyimide等各种材料的蚀刻。
- 故障分析中的选择性层蚀刻
- 光刻胶灰化、剥离和除渣
- 表面改性（润湿性和附着力改善）
FAQ
SAMCO（萨姆科）RIE等离子刻蚀机 RIE-10NR RIE-10NR 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。