SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-200C RIE-200C
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SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-200C RIE-200C
概述RIE-200C 是基于我们在 CCP RIE 系统“RIE-10NR”上的经验开发的量产盒式系统，该系统具有丰富的交付记录。该系统可对Si、Poly-Si、SiO2、SiN等多种硅薄膜进行高精度刻蚀和灰化，采用双卡匣双臂机械手，全自动操作，实现高产能。 PLC控制，高性能存储工艺参数。主要特点和优点大气高速传输系统该系统配备了一个大气盒室和一个大气传输
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面议 (税率:13%)
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-200C |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-200C |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-200C |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概述RIE-200C 是基于我们在 CCP RIE 系统“RIE-10NR”上的经验开发的量产盒式系统，该系统具有丰富的交付记录。该系统可对Si、Poly-Si、SiO2、SiN等多种硅薄膜进行高精度刻蚀和灰化，采用双卡匣双臂机械手，全自动操作，实现高产能。 PLC控制，高性能存储工艺参数。主要特点和优点大气高速传输系统该系统配备了一个大气盒室和一个大气传输
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概述
RIE-200C 是基于我们在 CCP RIE 系统“RIE-10NR”上的经验开发的量产盒式系统，该系统具有丰富的交付记录。该系统可对Si、Poly-Si、SiO2、SiN等多种硅薄膜进行高精度刻蚀和灰化，采用双卡匣双臂机械手，全自动操作，实现高产能。 PLC控制，高性能存储工艺参数。
主要特点和优点
大气高速传输系统
该系统配备了一个大气盒室和一个大气传输机器人，而不是通常的负载锁定室。它可以处理最大 ø8" 晶圆的自动处理，并且可以安装在两个晶圆盒中。
全自动操作
通过触摸屏实现全自动操作，通过 PLC 控制可以进行过程管理和数据记录。
应用
- Si、Poly-Si、SiO2、SiN等各种硅薄膜的高精度刻蚀。
- 光刻胶灰化、剥离和除渣
- 去除有机污染物
FAQ
SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-200C RIE-200C 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。