SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-300NR RIE-300NR
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SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-300NR RIE-300NR
概述RIE-300NR 是用于处理 ø300 毫米晶圆和多晶圆（ø3" x 12、ø4" x 8 等）的理想反应离子蚀刻系统，具有出色的均匀性。该系统旨在通过可靠的硬件和简便的服务最大限度地减少工厂空间要求、提高吞吐量、最大限度地延长正常运行时间并降低拥有成本。主要特点和优点加工最大 ø350 mm（ø3" x 12、ø4&qu
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面议 (税率:13%)
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产品参数
| 品牌 | SAMCO |
|---|---|
| 型号/系列 | RIE-300NR |
| 产品名称 | SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-300NR |
| 分类 | 工业化学品 |
| 订货编码 | RIE-300NR |
| 产地 | 日本 |
简短介绍
概述RIE-300NR 是用于处理 ø300 毫米晶圆和多晶圆（ø3" x 12、ø4" x 8 等）的理想反应离子蚀刻系统，具有出色的均匀性。该系统旨在通过可靠的硬件和简便的服务最大限度地减少工厂空间要求、提高吞吐量、最大限度地延长正常运行时间并降低拥有成本。主要特点和优点加工最大 ø350 mm（ø3" x 12、ø4&qu
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价概述
RIE-300NR 是用于处理 ø300 毫米晶圆和多晶圆（ø3" x 12、ø4" x 8 等）的理想反应离子蚀刻系统，具有出色的均匀性。该系统旨在通过可靠的硬件和简便的服务最大限度地减少工厂空间要求、提高吞吐量、最大限度地延长正常运行时间并降低拥有成本。
主要特点和优点
- 加工最大 ø350 mm（ø3" x 12、ø4" x 8、ø12" x 1）
- 用户友好的触摸屏界面
- 全自动“一键式”操作，全手动操作
- 优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性
- 一种紧密耦合的气体输送箱，可减少停留时间
- 与 TMP 相结合的对称疏散设计创造了高效的流动
- 自动压力控制，可以独立于气体流量精确控制过程压力
- 干式泵和系统布局便于维护
应用
- 去除夹层膜用于 ø300 mm 的失效分析
- Si、SiO2、SiN 和多晶硅的蚀刻
- 树脂蚀刻和除污
- 光刻胶灰化、剥离和除渣
- 表面改性（润湿性和附着力改善）
FAQ
SAMCO（萨姆科）RIE 等离子蚀刻系统 RIE-300NR RIE-300NR 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。